duv光刻机能生产多少nm 中国唯一一台euv光刻机现状

DUV光刻机可以生产65纳米到7纳米不等的芯片。中国目前正在推进EUV光刻机的研发和生产，预计未来将能够生产更小的10纳米以下的芯片。截至2021年，中国已经开发出一台EUV光刻机，并在产线上进行试验和生产。然而，目前中国仍然依赖进口EUV光刻机，尚未实现大规模商业化生产。

DUV光刻机可以生产65纳米到7纳米不等的芯片。中国目前正在推进EUV光刻机的研发和生产，预计未来将能够生产更小的10纳米以下的芯片。截至2021年，中国已经开发出一台EUV光刻机，并在产线上进行试验和生产。然而，目前中国仍然依赖进口EUV光刻机，尚未实现大规模商业化生产。